| 设备简介 |
| CGS-MT光电气综合测试平台适用于各类材料（粉末、薄膜、阵列、二维材料、量子点等）、毫米级别器件（传感器、探测器、晶体管等）在不同环境激励（气体、温度、湿度、光照）条件下的原位测试及综合特性分析。平台通过一体化的电学、探针、微腔体、静态配气设计，可提供精准的电学测量、灵活的探针调节、精准的温度调节和便捷的气氛控制。 |
| 性能指标 |
原位电学冷热台：4探针连接、真空密封、三同轴接口，支持控温、通气、控湿、加光、水冷保护电学测试模块.电流范围：100pA~200mA;电压范围：±200mV~±10V;电阻范围：1Ω~10GΩ。
温度控制模块:室温－500℃(Ag台），分辨率／稳定度：0. 2℃;Ag台加热，上下一体水冷保护。
静态配气模块:5 L,内置液体蒸发器（温度范围：室温－250℃)、风扇和温湿度传感器。
光激发模块:LED光激发模块，波长可选，配置准直器和电源模块。 |
| 仪器功能 |
1、四探针，双源表配置，支持双通道测试，每个源表均支持两线和四线法测量。
2、支持1-t、R-t、V-t、I-V、V-1等测试，支持单通道和双通道测试，支持晶体管分析 测试通道测试模式。 |
| 应用范围 |
| 气敏、湿敏、光敏、光电、介电、铁电、原位光谱－电学测试、原位显微－电学测试等 |
