| 设备简介 |
| 高低温真空探针台具有4个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位，每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。Lake Shore TTPX探针台的温度范围是10 K到400 K,探针台系统需要使用液氦或液氮实现变温，加热温控器使整个系统可以实现快速的变温，实现准确测量半导体器件和芯片特性。 |
| 仪器功能 |
| 高低温真空探针台为半导体电子器件和芯片的参数测试提供一个测试平台。探针台可在真空、低温、高温或指定气体条件下，配合测量仪器（如Key sight B1500A 半导体器件分析仪）可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路、高速器件的精密测量的科学研究，确保器件可靠性。 |
| 性能指标 |
1)温度范围：80-400 K
2)直流探针臂漏电流：<100 fA
3)可以支持脉冲测试
4)测量采用探针测试，无需焊线
5) 4个探针臂：3个直流探针臂，1个脉冲探针臂 |
| 应用范围 |
| 高低温真空探针台主要应用于半导体行业、光电器件领域、集成电路以及封装的测试。如高低温真空环境下的芯片测试，LED测试，半导体二极管光电特性测试，半导器件的IV/CV特性测试，高频特性测试等。 |
