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半导体器件电学测量系统 (B1500A)

2024年04月01日 10:43  

设备简介
B1500A是通过给被测器件提供不同的偏压和偏流,利用电流电压源(SMU)逐点测试,并根据测试结果描述出其对应曲线。B1500A利用计算机控制加载不同的偏压和偏流,并通过计算机将数据处理后显示在显示器上。一般提供高,中、高分辨功率和超快脉冲等测量电流电压源。可以测量场效应晶体管、薄膜晶体管、存储器和芯片电学特性。
仪器功能
Key sight B1500A 半导体器件分析仪是一款用于器件表征的仪器,它能够执行从基础电流-电压(I-V)和电容-电压(C-V)表征到最佳快速脉冲I-V测试的全方位测量,可以帮助工程师对器件、材料、半导体、有源/无源元器件或几乎任何其他类型的电子器件进行精确和快速的电子表征和测试。
性能指标
1.电流-电压(I-V) 测量模块  
1)最大电压为:±100 V  
2)最大电流为:±100 mA  
3)电压测量分辨率:0.5 μV  
4)电流测量分辨率:10 fA  
2. 电容-电压(C-V), 电容-频率(C-f) 测量模块  
1)频率范围: 1 KHz ~ 5 MHz。  
2)支持准静态电容-电压测量。  
3)偏置电压: ±25 V  
3. 脉冲电流-电压(Pulsed I-V)测量模块  
1)波形分辨率:10 ns  
2)电流测量分辨率:1 μA  
3)测量Id-Vg和Id-Vd  
4)峰值输出电压:10 V    
应用范围
半导体器件有关都可以通用测试,如场效应晶体管、薄膜晶体管I-V和C-V特性和脉冲I-V测试,存储器电学特性,太阳能电池I-V特性,大功率器件的噪声特性。

       


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