三维光学形貌仪
2024年04月01日 21:56
| 设备简介 |
| 白光干涉仪(型号：Rtec UP-2000)是一种利用光波的干涉现象来测量物体表面形态的仪器。它利用了光波的相干性原理，通过将光分为两个不同的路径，然后再使它们重新相遇，观察到干涉现象来测量物体的形态。 |
| 性能指标 |
1、 标准电动平台150x150mm(可选210x310mm)
2、 标准转塔
3、 垂直范围可达100mm
4、 倾斜阶段6度
5、 XY平台分辨率0.1um
6、 自动拼接楷模
7、 Sigma头 - 仅限白光干涉仪 |
| 仪器功能 |
| 对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 |
| 应用范围 |
| 白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。 |
金属片表面摩擦磨损样品测试报告
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